掩膜与掩膜工件台、晶圆与晶圆工件台以及掩膜工件台与晶圆工件台的预对准完成后,晶圆和掩膜就已经有了一个初步的对准,下一步就是掩膜与晶圆的精确对准操作。 掩膜和晶圆对准的方法有多种:按识别对准标识时光学系统的工作方式来划分可以分为亮场、暗场或衍射模式;按对准操作时光线的传输方式及其与曝光系统之间的关系,...
在半导体产业发展的最初阶段,几何成像对准在集成电路制造中几乎是唯一使用的光刻对准方式,也是目前操作最为简单、直观的对准方式,其中包括常见的双目显微镜对准、利用散射光的暗场对准、场像处理对准、双光束TTL对准、底面对准系统以及双焦点对准方式等。 1、双光束TTL对准技术 双光束TTL对准技术,主要通过在掩模一侧通过精...
ASML步进投影光刻机是以TTL（Through The Lens）对准系统将硅片上的标记与掩膜板上的标记进行对准的。TT...
因此,在静止条件下,高精IMU不需要外部辅助,就可以完全确定自身姿态,实现初始对准。 静基座粗对准 当地当导航系[ENU系]下,地球的重力为 gn=[00−g] 地球自转角速度为: ωien=[0ωiecosLωiesinL] 式中, ωie 为地球自转角速率,约为 15.041067∘/h。 L 为地理纬度。 下面列出惯导角速度测量关系...
在图像处理相关的问题中,图像对准是一类典型的问题,也就是要将两幅图严丝合缝地对应起来。通常来讲,两幅图大小不一,一个是模板,一个是母图,也就是要在母图中搜寻定位到与模板图最为接近的区域。 实现的方式有很多,惯常使用的是基于准则匹配的方法和基于特征匹配的方法。基于准则匹配,就是直接地对图的灰度值矩...
运动对准技术 Motion alignment technology /02 用于全膝关节置换术 (TKA) 的运动学对齐 (KA) 技术是一种旨在重新铺设膝关节表面的替代手术技术。目标是通过恢复天然(关节炎前期)膝关节线对齐和韧带情况。通过参考关节表面、补偿软骨和/或骨质流失以及考虑植入物的厚度来设置 KA ...
一、对准方法 对射传感器发射端与接收端的对准方法主要有以下几种: 1. 通过目视观察进行对准。这种方法适用于对准距离短且环境亮度适中的情况下,可以通过目视观察传感器的发射端与接收端在同一直线上即可。 2. 利用红外测距仪进行对准。如果对准距离较长或者环境亮度...
粗对准是指将掩膜与硅片在光刻机底部初步对准,以便进行后续的精对准。在实际应用中,有两种粗对准的方法:背面对准和前面对准。 1. 背面对准 背面对准是将掩膜和硅片的背面对准,主要用于对掩膜与硅片的空间位置进行大致调整。它的原理是通过透射式投影机的背反演镜头将掩膜背面上的图案投射到硅片表面上...
作者 中国在基础设施建设上挑战了一系列的不可能，中国工程人员一直在研究和突破，解决各种难题，这充分展现出了中国的强大基建实力和毅力。版权说明：欢迎个人转发，任何形式的媒体或机构未经授权，不得转载和摘编。转载授权请在「返朴」微信公众号内联系后台。原标题：《两端同时施工的隧道如何解决对准问题？》
1.一种对准装置,其特征在于,包括: 2.根据权利要求1所述的对准装置,其特征在于,所述透镜组件包括: 3.根据权利要求2所述的对准装置,其特征在于,所述透镜组件还包括孔径光阑,所述孔径光阑用于对透过所述第一凸透镜或镜组的所述光进行透过并透射至所述第二凸透镜或镜组。