河北工业大学周建伟,齐宇航课题组领导的研究团队提出了一种促进Ru高效去除的“三重协同效应”机制,能够兼顾Ru的高去除速率及低表面缺陷。该研究探讨了H2O2基抛光液中氨三乙酸三铵(NTA(NH4)3)对Ru阻挡层CMP的影响,阐明了NTA(NH4)3促进Ru...