射频单电子晶体管具有高电荷灵敏度和高读出速率的特点,可用于超导太赫兹单光子探测器产生的微弱电荷信号的读出.采用绝缘体上硅(SOI)材料制备的硅基单电子晶体管具有结构可控、工艺可重复的优点.但是,目前单电子晶体管的成品率约为30%,难以满足探测器阵列化的需求.为进一步提高单电子晶体管...