科昶45度 60度 80度 100度 125度 点胶烘烤用 产线隧道炉 非标订制KQ系列 ¥22.00万 查看详情 变压器胶水灌封脱泡机非标 真空消泡机 AB胶除泡箱真空度-101KPA ¥4.00万 查看详情 科昶 非标订制 600度 铝合金固熔炉 铜铝合金时效炉 温度均匀度±3℃ ¥3.00万 查看详情 科昶 非标订制 手机玻璃用 双腔独立 100...
百度试题 结果1 题目光刻工艺流程的操作顺序是涂胶、前烘、曝光、显影、烘烤、坚膜、刻蚀、去胶。( ) 相关知识点: 试题来源: 解析 正确 反馈 收藏
一、项目基本情况 招标人:润西微电子(重庆)有限公司 建设地点:重庆 项目规模:/ 项目资金来源:自筹 招标编号:T11002021SZ0008 项目名称:润西微电子(重庆)有限公司 标段名称:紫外烘烤坚膜设备购买 招标内容和范围:购买一台紫外烘烤坚膜设备 交货期/工期:收到PO后,于2022年3月31日前发货 注:详细内容见招标文件,以...
百度试题 结果1 题目光刻工艺流程中,去水烘烤、软烤、坚膜的目的都是为了增强光刻胶对晶片表面的附着力。( ) 相关知识点: 试题来源: 解析 正确 反馈 收藏
为后续工艺提供方便,这次烘烤又被称为坚膜烘烤(hard bake)。 坚膜烘烤的温度必须控制好,不能高于光刻胶的玻璃转变温度(glass transition temperature, Tg);否则光刻胶会软化,导致形状的破坏。坚膜烘烤大多用于I-线(365nm波长)的光刻工艺,在248nm以后已经很少使用。