本发明公开了一种VCN硬质纳米结构薄膜及其制备方法,是在室温下,采用高纯的V靶和C靶为靶材,双靶共焦射频反应溅射法沉积在基体上得到的。沉积时,以氩气起弧,氮气为反应气体,氩氮气流量比为10sccm:7sccm,基体的旋转速度为3r/min,工作气压为0.3Pa,背底真空度<6.0×10‑4Pa,溅射时间为3h。所得薄膜厚度为1.8～...
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摘要 本发明公开了NbVN硬质纳米薄膜及其制备方法,其特征在于薄膜分子式为(Nb,V)N,厚度为1~3μm,V含量为0~50at.%,该薄膜的摩擦系数在室温至700℃范围内随着温度的升高而降低。是利用双靶共焦射频反应法沉积在硬质合金或陶瓷基体上的,沉积时,真空度<3.0×10-3Pa,以氩气起弧,氮气为反应气体进行沉积;溅射气压...
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NbVN硬质纳米薄膜及制备方法 (57)摘要 本发明公开了NbVN硬质纳米薄膜及其制备方法,其特征在于薄膜分子式为(Nb,V)N,厚度为1～3μm,V含量为0～50at.%,该薄膜的摩擦系数在室温至700℃范围内随着温度的升高而降低。是利用双靶共焦射频反应法沉积在硬质合金或陶瓷基体上的,沉积时,真空度<3.0×10 法律状态 法律...
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材质 2Cr12NiMoNbVN 价格说明 价格:商品在爱采购的展示标价,具体的成交价格可能因商品参加活动等情况发生变化,也可能随着购买数量不同或所选规格不同而发生变化,如用户与商家线下达成协议,以线下协议的结算价格为准,如用户在爱采购上完成线上购买,则最终以订单结算页价格为准。 抢购价:商品参与营销活动的活动价格...
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