金属靶材：铝（Al）：用于制备导电薄膜、反射镜和装饰涂层，常见于集成电路和光学元件中。钛（Ti）：用...
靶材指的是在离子注入过程中接受离子束的材料。物理和化学性质直接影响离子注入的效果,包括注入深度、离子分布均匀性,以及最终材料的性能。 不同类型靶材的特性及其选择标准 特性因素 化学组成:决定了靶材与离子的相互作用类型,影响离子注入的效果。 晶体结构:不同的晶体结构对离子的吸收和分布有不同的影响。 热导性和...