靶材,又称为溅射靶材,是指在溅射镀膜过程中被溅射的物质。溅射是一种材料沉积方法,通过加速带电粒子(离子)撞击靶材表面,将靶材表面的原子或分子“剥离”出来,然后将其沉积到衬底表面,形成薄膜。靶材的选择和质量对薄膜的性能有着至关重要的影响 二、靶材的种类 根据不同的分类方法,靶材可以分为多种类型。 按材料...
分类：按材质分类：金属靶材：如铜、铝、钨等，主要用于导电和反射层。合金靶材：如铝铜合金、钽铌合金，用于满足特定电性能的需求。陶瓷靶材：如氧化铝、氮化硅，主要用于绝缘层或特殊功能层。按应用分类：光学膜靶材：用于液晶显示器等光学应用。磁性膜靶材：用于硬盘和存储设备的数据记录层。导电膜靶材：主要用于集成...
铝基陶瓷靶材： 这类靶材因其优异的导电性和反射性，常用于电子和光学领域。例如，纯铝靶材用于制作反射镜和电子封装材料。铜基陶瓷靶材： 铜基靶材以其良好的导电性和热导性，广泛应用于电子器件的制造。例如，高纯度铜靶材用于制作集成电路中的导电通道。稀土元素陶瓷靶材： 这类靶材通常用于特种应用，如发光材料和...
金属靶材：包括单一金属或金属合金，如铜、铝、银等。这类靶材主要用于形成导电或装饰性膜。氧化物靶材...
靶材的分类根据材质和应用领域划分。按材质分为金属、合金、碳化物、氮化物、氧化物等。按应用领域分为逻辑器件、存储器、传感器、显示面板、太阳能电池等。靶材的物理与化学特性直接影响其性能。物理特性包括熔点、硬度、密度、热稳定性等；化学特性涉及化学反应活性、电化学性质、表面能等。影响靶材性能的...
靶材比重仪是一种通过测量材料质量和体积来计算密度的仪器。其基本原理是利用浮力原理,测量物体在水中排斥出的水的体积,从而计算出物体的密度。 二、靶材比重仪的分类 靶材比重仪根据其测量方式的不同可以分为以下两种: 1. 悬挂式靶材比重仪 这种比重仪将靶材悬挂...
按材料种类分类:金属靶、合金靶、陶瓷靶、复合靶等。 按纯度分类:高纯靶材、超高纯靶材等。 按用途分类:光学薄膜靶材、磁性薄膜靶材、导电薄膜靶材等。 三、靶材的应用 靶材被广泛应用于许多领域,如: 显示器领域:如液晶显示器(LCD)、有机发光二极管(OLED)等。
分类: 按材质分类: 金属靶材:如铜、铝、钨等,主要用于导电和反射层。 合金靶材:如铝铜合金、钽铌合金,用于满足特定电性能的需求。 陶瓷靶材:如氧化铝、氮化硅,主要用于绝缘层或特殊功能层。 按应用分类: 光学膜靶材:用于液晶显示器等光学应用。 磁性膜靶材:用于硬盘和存储设备的数据记录层。
1. 按照材料的化学成分分类：可以将磁控溅射靶材分为金属靶材、合金靶材、氧化物靶材、氮化物靶材、硅化...