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电离规管的工作原理基于气体分子在电场作用下的电离过程。当电离规管置于真空系统中,高压电源将电离规管的电极通电,形成电场。当气体分子经过电离规管时,受到电场的作用,部分分子会电离形成正离子和自由电子。这些电离产物被电极吸引,并在电极上形成电流。电离规管通过测量电流来推断气体的真空度。 三、电离规管的类型...
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