基于圆载频相位解调法的光学系统波前测量装置及方法专利信息由爱企查专利频道提供,基于圆载频相位解调法的光学系统波前测量装置及方法说明:本发明公开了一种基于圆载频相位解调法的光学系统波前测量装置及方法。该装置包括沿光路方向依次共轴...专利查询请上爱企查
本发明公开了一种基于圆载频相位解调法的光学系统波前测量装置及方法。该装置包括沿光路方向依次共轴设置的激光器、扩束器、空间滤波器、待测光学)实验操作简单,只需要将点衍射板沿光轴方向移动就可以形成圆载频干涉图;(3)满足瞬态测量要求,避免移相误差以及环境振动对测量造成的影响。【专利附图】【附图说明】[0014...