潘峰,范毓殿,柳百新 - 《物理》 被引量: 0发表: 1993年 锆、钒离子注入铝形成金属间化合物 利用金属蒸气真空弧离子源,将大束流Zr和V离子注入到Al中,在离子注入过程中直接形成了金属间化合物Al3Zr,Al10V和Al3V.当Zr离子束流密度为64 μA/cm2,剂量为5×1017 ion... 苗伟,陶琨,李彬,... - 《真空...