招生专业 080903-微电子学与固体电子学 085209-集成电路工程 085208-电子与通信工程 招生方向微纳感知系统与器件微纳米先进制造技术微电子装备与工艺 教育背景 2002-09--2007-06 中国科学院微电子研究所 工学博士 工作简历 2007-06~现在, 中国科学院微电子研究所, 研究员/研究室主任 奖励信息(1) 原子层沉积系统...
李超波，男，中国科学院微电子研究所微电子学与固体电子学工学博士，现任职于中国科学院微电子研究所，微电子仪器设备研发中心副主任、研究员，中科院青联委员，北京市生产力促进中心特聘责任专家，其主要研究方向为新原理纳米加工工艺与装备、MEMS制造与传感技术、智能装备。基本信息 姓 名: 李超波 性 别: 男 职 务...