摘要 本发明公开了一种晶圆夹持装置,包括两个夹臂用于夹持晶圆,还包括一个滑轨以及转台,夹臂的端部设置在滑轨上可沿其滑动,两个夹臂位于滑轨上的端部分别铰接一个连接片,连接片的另一端与转台铰接,转台连接电机转轴由其带动转动;当两个夹臂夹紧后,连接片与转台的铰接轴心与电机轴心位于同一平面,且该平面与滑轨...
摘要 本申请实施例提供了一种晶圆夹持装置。该晶圆夹持装置包括:基体、顶盖、卡爪、柔性件及限位结构;所述顶盖设置于所述基体上方,所述顶盖上有一承载部;多个所述卡爪均设置于所述基体的周缘,且多个所述卡爪均向上延伸并穿过所述顶盖的承载部;所述柔性件设置于所述顶盖及所述基体之间,用于当所述顶盖下降时提供...
摘要 本实用新型提供一种晶圆夹持装置,包括控制件、第一夹持件以及第二夹持件,控制件连接在第一夹持件与第二夹持件之间,并使得第二夹持件与第一夹持件相互靠近以夹持晶圆;第一夹持件包括第一夹持部与第一支撑部,第一夹持部具有朝向第二夹持件的第一夹持面,第一支撑部与第一夹持面连接且矮于第一夹...
摘要 本发明提供了一种晶圆夹持装置,安装于晶圆卡盘,包括基座,其连接并固定于所述晶圆卡盘的边缘;支撑台,其固定于所述基座,用于通过设置于其上表面的棱线结构接触并支撑晶圆;导向柱,其固定于所述基座,用于将所述晶圆引导并限位于设定位置;夹持件,其活动连接所述基座,用于在所述晶圆被引导并限位于设定位置后,从...
了一种晶圆夹持装置,晶圆夹持装置包括:第一夹持件,所述第一夹持件具有第一夹持端和第一活动端;第二夹持件,所述第二夹持件具有第二夹持端和第二活动端;驱动件,所述驱动件设置成同步驱动所述第一活动端和所述第二活动端相向或背向运动,其中,所述第一夹持端与所述第二夹持端相对设置以用于夹持晶圆。
摘要 本实用新型公开了一种晶圆夹持装置,其特征在于,包括:基板;定位柱,所述定位柱设置于基板表面并突出于基板表面;定位块,所述定位块设置在基板边缘,且定位块设置有自基板边缘向基板中心延伸的挡片,所述定位块可远离基板边缘运动并可回复至扣合在基板边缘地设置;弹性复位装置,所述弹性复位装置在定位块远离基板边缘...
中芯北方取得晶圆夹持装置专利 金融界2024年11月1日消息，国家知识产权局信息显示，中芯北方集成电路制造（北京）有限公司取得一项名为“一种晶圆夹持装置”的专利，授权公告号CN 113764330 B，申请日期为2020年6月。本文源自：金融界 作者：情报员
证券之星消息,根据企查查数据显示华海清科(688120)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种晶圆夹持机构和晶圆后处理装置”,专利申请号为CN202310209042.5,授权日为2024年1月26日。 专利摘要:本发明公开了一种晶圆夹持机构,其包括:转盘;卡爪组件,其沿所述转盘的周向设置,所述卡爪组件包括:固定座,其连接于转盘且配...
摘要 一种晶圆夹持装置,下夹盘水平连杆与下夹盘之间通过下夹盘垂直连杆连接,下夹盘垂直连杆穿过上夹盘;气缸杆固定夹设置在气缸杆上端;气缸杆内带有气道,上夹盘能升降,气缸杆与电机轴固定,气缸筒随着进气量的增加能上下移动,上夹盘与气缸筒连接,气缸筒上设置有排气口。机械手将晶圆放置到下夹盘圆弧内,然后气缸...
摘要 本实用新型涉及夹具技术领域,尤其涉及一种晶圆的夹持装置。夹持装置包括驱动组件、第一转动架、第二转动架和加工台;所述加工台的两侧均转动设置有活动板,所述第一转动架和所述第二转动架的一端均连接在所述驱动组件的输出端,所述第一转动架和所述第二转动架的另一端与对应侧的所述活动板连接;所述加工...