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晶圆喷胶显影机台的工作流程通常包括以下几个步骤: 1. 晶圆装载:将待加工的晶圆放置在机台的夹具上,通过机械手臂将晶圆送入机台内部。 2. 气动喷涂:将光阻液均匀地喷洒在晶圆表面。 3. 曝光:通过紫外线照射,使光阻液固化在晶圆表面。 4. 显影:...
在多腔室的track机台,用到热板的次数相对变多,那么热板的数量要大于冷板数量,可以按4:1或3:1的比例配置。而在腔室数量较少的track机台中,或某些干膜的显影机台中,也见过1:1的比例。当然在配置的核心是不让晶圆长时间等待下一个工序,合理利用机台。例如与某款track机台共有4个腔室,预留了热板与冷板的位置...
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一、白光区涂胶显影机台的工作原理 白光区涂胶显影机台是一种在光照条件下进行显影的、涉及到胶卷和胶片的专业设备。它通过涂胶和显影的过程,将白光区的图像形成在干燥的胶片上。具体来说,该机台先将胶液均匀地涂在胶片表面上,待胶液干燥后,再通入白光区,使白光能够透过胶片形成图像。之后,再将胶片放...
集微网消息，6月10日，沈阳芯源微电子设备股份有限公司（以下简称：芯源微）12寸KrF涂胶显影设备顺利入驻厦门士兰集科。图源：芯源微 芯源微官方消息显示，此次芯源微12寸高产能KrF涂胶显影量产机台的顺利交付，将会为士兰集科提供更加高端的光刻工艺解决方案及服务，为士兰集科后续高端产品稳定量产、产线升级扩产提供...
KS-M300半自动机台是一款多功能设备,专为单片晶片的涂胶、显影、喷胶、清洗、刻蚀及去胶工艺等一系列复杂工艺流程而设计。同时,它也可以高效地处理掩膜板的涂胶、显影和清洗工艺。这款机器特别适合小批量生产的工艺试验和生产线,不仅满足了科研人员和工程师在实验阶段的需求,也为小规模生产提供了高效的解决方案。 KS...
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6月10日,沈阳芯源微电子设备股份有限公司(以下简称:芯源微)12寸KrF涂胶显影设备顺利入驻厦门士兰集科。 图源:芯源微 芯源微官方消息显示,此次芯源微12寸高产能KrF涂胶显影量产机台的顺利交付,将会为士兰集科提供更加高端的光刻工艺解决方案及服务,为士兰集科后续高端产品稳定量产、产线升级扩产提供更为安全的供应链保...