选购抛光垫时,应根据实际需要选择合适的槽形。对于表面较小、平整的工件,可以选择V型槽;对于表面较大、凹凸不平的工件,可以选择U型槽或梯形槽。此外,还要根据加工工件的硬度选择合适的抛光垫颗粒大小,以避免对工件表面的损害。 总之,选择合适的抛光垫和槽形是保证加工效率和工件表面质量的重要因素,希望本文能够为读者...
本发明的抛光垫检测方法通过设置标记光线、获取计算夹角的正弦值,获取检测图像,公式计算的步骤,得到CMP系统中抛光垫的实际深度。本发明的抛光垫深度检测方法可以解决停机人工测量抛光垫沟槽深度效率低、易造成表面损伤和误差较大的问题。可以根据实时测量得到的实际深度为抛光过程提供参数依据,优化抛光工艺参数。 摘要附图 ...
摘要 本发明检测窗抛光垫沟槽的加工方法,包括如下步骤:步骤一,加工刀具从抛光垫的抛光层的非检测窗区域开始雕刻凹槽,形成基础沟槽;步骤二,当加工刀具接近检测窗时,加工刀具逐渐抬起,直至离开抛光层,形成检测沟槽;其中检测沟槽为倾斜结构。与现有技术相比,本发明有益效果在于:在进行检测窗抛光垫的沟槽加工过程中,在加工...
化学机械抛光中抛光垫表面沟槽的研究_胡伟
摘要 本发明公开了一种具有径向微沟槽的抛光垫,所述抛光垫包括抛光层,所述抛光层具有一旋转中心,以及与所述旋转中心同心的抛光轨迹区和环向沟槽,所述抛光轨迹区含有径向微沟槽,所述径向微沟槽的取向满足抛光时抛光介质的流型函数。本发明的抛光垫能够合理改变抛光介质在抛光垫上的停留时间,有效提升抛光速率的同时,能...
摘要 本实用新型涉及抛光垫技术领域,公开了一种带沟槽的聚氨酯抛光垫,包括基垫,基垫顶面设有底胶层,底胶层上表面设有弹性软垫,弹性软垫顶面设有粘合剂层,粘合剂层上表面设有隔水层,隔水层顶面设有缓冲层,缓冲层顶面设有抛光柱,抛光柱上表面设有排屑组件,排屑组件包括横向凹槽,横向凹槽连接竖向凹槽,并与其将...
摘要 本发明涉及一种具有偏移沟槽的抛光垫,包括抛光层,所述抛光层表面设置有同心圆沟槽和径向沟槽,所述同心圆沟槽的圆心偏置设于所述抛光垫的圆心的一旁,所述同心圆沟槽包括位于中央的无沟槽区域和包围无沟槽区域的环形槽,所述径向沟槽分布于所述无沟槽区域的边缘和所述抛光垫的圆周边缘之间。与现有技术相比,本发明...
在化学机械抛光过程中,抛光垫沟槽形状对抛光液的运送及均匀分布、化学反应速率、反应产物及其浓度,材料去除速率会产生重要影响,是改变抛光垫性能的最主要途径_1]。目前关于化学机械抛光垫沟槽形状的研究较少,也尚未形成完整的理论,大多数研究成果都是经验性的_4]。国内,广东工业大学和大连理工大学做过相关研究[5;国外...
摘要 本实用新型公开了一种间断性圆弧沟槽抛光垫,包括抛光垫本体,设置于抛光垫本体中心处的圆形沟槽,圆形沟槽的外部衍生有第一短弧沟槽,相邻第一短弧沟槽之间设置有第二短弧形沟槽,弧形沟槽向外衍生有间断性弧形沟槽,呈发散状延伸至抛光垫本体上任意一点。该抛光垫的相邻两个沟槽区内的弧形沟槽为间断性分布且互不连...
百度爱采购为您找到5家最新的更具沟槽抛光垫产品的详细参数、实时报价、行情走势、优质商品批发/供应信息,您还可以免费查询、发布询价信息等。