许多微区分析手段可同时进行形貌观察和结构测定。微区分析的空间分辨率在微米级,检出限在(1~500)×10^-6水平。较早使用的技术有激光光谱、电子探针和各类电镜。发展起来的有激光烧蚀等离子质谱、二次离子探针质谱、扫描核探针和同步辐射X射线探针等。微区分析主要有两种工作方式:一是定点分析,二是扫描分析。随着各种...
1)显微红外分析 针对较小通过显微红外对大于10微米的样品进行成分结构分析。 2)XPS分析 针对样品表面进行元素分析,对于表面镀层处理或者清洗后通过表面元素分析寻找可能的污染来源。 {{moduleItem.modulename}} 样品要求 提供实际需要分析的样品 常见问题 1. 微区分析具体使用什么测试手段呢?
电子探针微区分析又称电子探针显微分析，是试样非破坏性微区化学元素定性定量分析方法。介绍
微区分析/micro-area analysis/ 条目作者陈杭亭最后更新 2023-04-18 浏览83次对样品表面微米限度的局部区域内进行成分分析的技术。多利用高强度的电子、激光等微束或探针技术,在光学显微镜下对所选样品的微区物质的化学成分直接(原位)进行分析的方法。 英文名称 micro-area analysis 所属学科 化学...
电子探针微区分析（Electron Probe Micro-Analysis，简称EPMA）是一种高精度、高分辨率的微区分析技术，它能够定量地分析固体材料中的微量元素和化学计量比，同时还可以测量样品中的晶体结构、晶体缺陷、表面形貌等多个物理性质。仪器原理 EPMA技术基于电子束与物质的相互作用，利用电子束击打材料表面，使样品表面发射出X...
除了材料的体相成分信息外,许多研究会关注材料表面深度约1 μm以内的微区结构和成分信息。目前微区成分分析技术种类繁多,大多是用能汇聚成微米的射线与样品相互作用,再探测体积内激发出射线的能量(或质量)和强度来进行成分分析的。为此,笔者在本文中介绍了四种常见的微区成分分析技术,其中包括EDS、XPS、XRF和TOF-SIMS...
电子探针微区分析(Electron Probe Micro-Analysis,简称EPMA)是一种高精度、高分辨率的微区分析技术,它能够定量地分析固体材料中的微量元素和化学计量比,同时还可以测量样品中的晶体结构、晶体缺陷、表面形貌等多个物理性质。 仪器原理 EPMA技术基于电子束与物质的相互作用,利用电子束击打材料表面,使样品表面发射出X射线...
微区成分分析（microanalysis）是指样品表面线度约1微米的面积内进行成分分析的技术。简称为微（束）分析或微探针。分析结果反映由微小面积和取样深度决定的有效探测体积内的平均成分和含量。分析时若对样品表面扫描即可探测成分的面分布及相应的表面形貌。此类成分分析大多始于20世纪60年代，随着以超大规模集成电路为代表...
电子探针X射线微区分析(EPMA)Electron Probe X-ray Microanalysis是用聚焦极细的电子束轰击固体的表面，并根据微区内所发射出X射线的波长（ 或能量）和强度进行定性和定量分析的方法。工作原理 电子探针（Electron Probe Microanalysis-EPMA）的主要功能是进行微区成分分析。它是在电子光学和X射线光谱学原理的基础上发展...