并通过发射光谱对等离子体状态进行诊断.研究结果表明,在射频电场作用下二氧化碳气体迅速电离并部分分解为一氧化碳和氧气,随着射频功率升高CO2分解率提高,而能量效率降低.氢气的加入可以显著降低CO2分解达到平衡所需的时间,随着H2含量的增加,二氧化碳的分解率先