阴极发光显微术是针对材料在电子显微镜的电子束激发下产生的发光现象进行分析表征的手段,发光的范围涵盖了从紫外到红外的波段 200 – 2,300 nm,或,6 – 0.5 eV)。由于电子显微镜具备将电子束聚焦到亚纳米尺度的能力,因此我们得以在小至纳米尺度上对材料的光学性能进行
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我们可以通过将阴极发光光谱仪用螺栓固定在显微镜上并将抛物线收集镜延伸到样品上方来收集样品发出的光,并将其耦合到检测器中来获取此信息。这使我们能够将光学,化学和结构特性关联到纳米级。当我们将CL和EDS耦合在一起时,这些技术提供了大量的补充信息。
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