原子力显微镜可以对隔离栅镀层进行高分辨率、高灵敏度的检测,获取其表面形貌和厚度信息。但是,其检测速度较慢、对样品的要求较高,且显像过程受到杂散信号等因素的干扰较大。 三、设备要求 对隔离栅镀层厚度进行检测需要配备相应的设备,具体要求如下: 1. 检测仪器:X射线荧光光谱仪、扫描电子显微镜、...