用聚焦极细的电子束轰击固体的表面,并根据微区内所发射出X射线的波长( 或能量)和强度进行定性和定量分析的方法。 仪器 主要组成部分(见图)为:①电子光学系统。其功能是产生电子并使它聚焦于试样表面。包括图中1、2、3、4部分。② 样品室 、附移动机构,可把待测点置于电子束之下。即图中的6。③ 光学显微镜...